貼(tie)片(pian)機(ji)的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率通常是指貼(tie)片(pian)機(ji)定位(wei)系統的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率,具體(ti)指機(ji)械(xie)位(wei)移(yi)的(de)極限,它包括X-Y移(yi)動(dong)的(de)距(ju)離和(he)(he)(he)(he)Z軸旋轉角度,其數值(zhi)取決于伺(si)服機(ji)構和(he)(he)(he)(he)軸驅(qu)動(dong)機(ji)構及(ji)其測量(liang)和(he)(he)(he)(he)控制系統的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率。實際上,貼(tie)片(pian)機(ji)各(ge)(ge)系統,例如(ru),光學系統、各(ge)(ge)種控制和(he)(he)(he)(he)測量(liang)傳感器均有自己的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率。
貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率是(shi)(shi)保證(zheng)貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)基(ji)礎,如同一臺(tai)分(fen)(fen)辨(bian)率高(gao)的(de)(de)(de)(de)儀器是(shi)(shi)保證(zheng)測量(liang)的(de)(de)(de)(de)基(ji)礎一樣。但(dan)是(shi)(shi)分(fen)(fen)辨(bian)率不(bu)與直接(jie)關聯,貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)一部(bu)分(fen)(fen)機(ji)(ji)(ji)(ji)構分(fen)(fen)辨(bian)率高(gao)或者所有機(ji)(ji)(ji)(ji)構分(fen)(fen)辨(bian)率都高(gao),并(bing)不(bu)能(neng)保證(zheng)貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)高(gao);高(gao)分(fen)(fen)辨(bian)率只是(shi)(shi)高(gao)的(de)(de)(de)(de)必(bi)(bi)要(yao)(yao)條(tiao)件(jian),而不(bu)是(shi)(shi)充分(fen)(fen)條(tiao)件(jian),更不(bu)是(shi)(shi)必(bi)(bi)要(yao)(yao)充分(fen)(fen)條(tiao)件(jian),一般在貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)指標中不(bu)出現分(fen)(fen)辨(bian)率,只有在深入(ru)比較貼片(pian)(pian)機(ji)(ji)(ji)(ji)全面性能(neng)時才用到分(fen)(fen)辨(bian)率指標。
目前高(gao)貼片(pian)機的(de)Z軸移動和(he)轉動已分別(bie)達(da)到(dao)0.00 mm和(he)0.0024度的(de)分辨(bian)率,視覺系統的(de)照相機分辨(bian)率每個像素達(da)到(dao)0.038 mm。隨著精(jing)密(mi)制造技術(shu)的(de)發展(zhan),這些指(zhi)標還(huan)會(hui)進一步提高(gao),從(cong)而保(bao)證貼片(pian)機向更高(gao)的(de)發展(zhan)。
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